服務熱線
產品中心
PRODUCTS CENTER
東莞市日和自動化設備有限公司
手機：13929221177
地址：廣東省東莞市道滘鎮萬道路2 號華科城創新島產業孵化園28棟
Add：Bldg 28,HuaKeCheng,Wan Dao Road No.2, DaoJiao Town, DongGuan, China
產品詳情
產品描述
設備概要：浸漬濕法蝕刻機 產品：6英寸晶圓＆晶圓盒。
功能：在藥液中水平搖動晶圓，蝕刻晶圓表面。
第1槽：使用氯化鐵的蝕刻槽。 液溫50±0.3℃。水平擺動周期2.0±0.2秒
蝕刻時間計時器控制
平均蝕刻速率23A/sec。(Sigma 1A)
蝕刻后圖案線寬偏差±4um
（線寬30～170um）
第2槽：純水QDR第一沖洗槽。
第3、4槽：純水溢流第2沖洗槽。
特點：通過自動機忠實地再現了客戶開發的手動蝕刻工藝。（客戶已申請專利）
關鍵詞：
藥液刻蝕清洗機
上一頁
下一頁
ONLINE MESSAGE
在線留言
*注：請務必信息填寫準確，并保持通訊暢通，我們會盡快與你取得聯系
服務熱線：
東莞市道滘鎮萬道路2 號華科城創新島產業孵化園28棟
手機端
© COPYRIGHT 2022 東莞市日和自動化設備有限公司. ALL RIGHTS RESERVED | SEO標簽